上海启动８英寸“超越摩尔”研发中试线

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新华社上海9月10日电(记者王林林、刘畅)10日，上海微技术产业研究所建成的8英寸“超越摩尔”研发中试线正式启动，填补了中国微机电系统智能传感器领域空缺少小批量中间试验生产线的空白。

随着硅技术的发展接近其物理瓶颈和成本限制，业内专家认为“超越摩尔”的时代已经到来，传统的摩尔定律将被颠覆，不再局限于依靠尺寸变化来推动集成电路工艺节点，材料、工艺和结构等多维创新更加重要。

微机电系统智能传感器是一种新型传感器，具有体积小、成本低、集成化和智能化等优点，引领着传感器的快速发展。

传感器位于整个物联网的基础层，是数据采集的入口，是物联网的基石。根据《2016-2017中国物联网发展年报》，中国约60%的传感器依赖进口，几乎所有微机电系统智能传感器都依赖进口。

中国科协副主席、上海微技术产业研究所创始人达蒙院士认为，为了摆脱MEMS智能传感器对进口的严重依赖，实现中国芯片产业的自主控制，建设一条独立的8英寸R&D试验线势在必行。

8英寸R&D试验线主任游家杰表示，我国用于微机电系统的智能传感器的研究力量并不薄弱，由于试验环节的失败，主导产品还没有开发出来。

据游家杰介绍，新建的R&D中试线目前规定产能约为每月3000片，后期将达到5000片。“我们可以支持用户从数百件到数千件的容量需求。小规模订单首先出现在试点线上。一旦之前的市场测试成功，就可以将大规模订单转移到大型铸造厂，开始大规模生产。”

据报道，目前，R&D试验线专注于微机电系统智能传感器的研发，并将扩展到新的非数字化和多样化半导体产品的创新，如高压器件和生物医学芯片。